潔凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的空氣潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)。為了防止污染物進(jìn)入潔凈室，就需要使用空氣過(guò)濾器對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾，由于所需要的潔凈環(huán)境不同，便有了不同過(guò)濾器來(lái)維持不同潔凈室的潔凈度。

空氣過(guò)濾器指用于清除氣流中懸浮顆粒物和某些化學(xué)污染物的過(guò)濾器，分為粉塵過(guò)濾器、化學(xué)過(guò)濾器(也稱氣相過(guò)濾器)，及具備特殊功能的除菌抗病毒過(guò)濾器。

1、化學(xué)過(guò)濾器

化學(xué)過(guò)濾器用于去除化學(xué)污染物(AMC)，化學(xué)過(guò)濾技術(shù)是利用特殊配置的化學(xué)過(guò)濾材料吸附污染物質(zhì)，并讓污染氣體同濾料中的化學(xué)成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，把有毒有害的氣體污染物中和氧化成為無(wú)害的固體鹽類，從而達(dá)到去除污染氣體的目的。

主要分為： 平板型化學(xué)過(guò)濾器 、W型化學(xué)過(guò)濾器、箱式(有法蘭/無(wú)法蘭)化學(xué)過(guò)濾器、碳筒化學(xué)過(guò)濾器、插板式化學(xué)過(guò)濾器、V型化學(xué)過(guò)濾模塊等。

2、粉塵過(guò)濾器

粉塵過(guò)濾器用于去除氣流中的顆粒，因?yàn)轭w粒與過(guò)濾介質(zhì)中的纖維表面接觸后會(huì)粘附在纖維上。顆粒與過(guò)濾介質(zhì)中的纖維接觸后過(guò)濾的機(jī)理為濾除（篩效應(yīng)）、攔截效應(yīng)、擴(kuò)散效應(yīng)、慣性效應(yīng)以及靜電效應(yīng)。主要分為初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、高效過(guò)濾器。

3、除菌抗病毒過(guò)濾器

除菌抗病毒過(guò)濾器，內(nèi)置新一代除菌抗病毒纖維材料，提供有效的顆粒物過(guò)濾效率的同時(shí)，還采用全球獨(dú)有的 “ 銅 + 銀 ”離子混合配置技術(shù)，可對(duì) 95%以上的目標(biāo)異味、病毒和細(xì)菌進(jìn)行去除。同時(shí)可在不同的應(yīng)用場(chǎng)合，根據(jù)客戶的需求定制，以滿足客戶的預(yù)期效果。主要分為初效、中效和高效除菌抗病毒過(guò)濾器。

不論是工業(yè)潔凈室還是生物潔凈室，對(duì)于懸浮顆粒物和氣態(tài)污染物的控制要求都是極其嚴(yán)格的。需要可靠的空氣過(guò)濾系統(tǒng)來(lái)保證室內(nèi)空氣潔凈度，空氣過(guò)濾器的性能直接決定空氣污染物的去除效率。選用億天凈化優(yōu)質(zhì)的空氣過(guò)濾器系統(tǒng)方案，可以有效過(guò)濾雜質(zhì)污染，滿足生產(chǎn)要求。