隨著科技的快速發(fā)展，污染源類型日益呈現(xiàn)出多元化、動態(tài)化的特征。在潔凈室環(huán)境中，氣態(tài)分子污染物（AMC）已成為繼空氣懸浮粒子之后又一個影響環(huán)境質(zhì)量的關(guān)鍵因素。潔凈室內(nèi)存在各種AMC的釋放源，其污染物釋氣對潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的質(zhì)量具有決定性影響。因此，控制潔凈室內(nèi)的AMC濃度，是提升產(chǎn)品良品率的關(guān)鍵。目前，針對這項污染物的檢測與評估工作正愈發(fā)受到關(guān)注。

材料釋氣檢測關(guān)注的核心點

根據(jù)國際標準ISO 14644-8和國家標準GB/T 36066，潔凈室中的空氣化學污染物可分為八類：酸、堿、有機物、生物毒素、可凝聚物、腐蝕物、摻雜物和氧化物。空氣化學污染物可能導致半導體晶圓表面的污染、腐蝕導線連接等問題，進而危及產(chǎn)品質(zhì)量。因此，控制微電子潔凈室內(nèi)的AMC濃度，是提升產(chǎn)品良品率的關(guān)鍵。

潔凈（微）環(huán)境用材料是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中AMC的重要來源之一，應重點關(guān)注的材料包括環(huán)氧自流平、油漆、密封膠、涂料、膠粘劑、復合材料、潔凈耗材和化學過濾器等。材料釋氣檢測和評估是判斷材料和設備是否滿足潔凈室AMC控制要求的重要手段，是實現(xiàn)空氣化學污染控制的關(guān)鍵保障措施。

釋氣檢測的相關(guān)標準

1.JACA NO.34《潔凈室構(gòu)成材料產(chǎn)生的分子污染物測量指南 潔凈室建筑/組合材料排放的空氣分子污染物評估標準》

2.GB/T 25915.15《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第15部分:按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性》

3.ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》

4.VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》

5.ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》

釋氣檢測的流程

材料釋氣評估報告樣例

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈環(huán)境與裝備測試中心大灣區(qū)實驗室長期致力于電子產(chǎn)品制程環(huán)境與工藝系統(tǒng)性能檢測與評價、潔凈（微）環(huán)境用設備和材料性能研究，根據(jù)用戶需求提供檢測、監(jiān)測、咨詢、認證服務，助力您的潔凈空間升級，守護每一個品質(zhì)細節(jié)。