在電子半導(dǎo)體廠，局部微環(huán)境的高度凈化至關(guān)重要。微環(huán)境依托隔離技術(shù)，能在晶圓周邊形成完整的環(huán)境控制體系，覆蓋加工、儲(chǔ)存及運(yùn)輸全流程。

完全整合的微環(huán)境包含核心組成部分：微環(huán)境外殼會(huì)將制程區(qū)域或設(shè)備與潔凈室整體環(huán)境、人員隔離開(kāi)；配備自動(dòng)加載的輸入 / 輸出系統(tǒng)與密封容器，在晶圓裝卸、儲(chǔ)存和運(yùn)輸時(shí)提供全方位保護(hù)。

其設(shè)備設(shè)計(jì)與整合有三種基本形式：1.天花板吊頂式微環(huán)境：2.具獨(dú)立風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的地板支撐微環(huán)境;3.機(jī)臺(tái)整合微環(huán)境。

這種微環(huán)境的外殼與潔凈室天花板網(wǎng)格系統(tǒng)相連并懸掛其上，超凈空氣通過(guò)工廠中心系統(tǒng)（管道或開(kāi)放式氣管）輸送至外殼內(nèi)部。它具備高靈活性，方便人員進(jìn)入設(shè)備進(jìn)行維護(hù)作業(yè)。溫度、濕度及化學(xué)過(guò)濾等環(huán)境參數(shù)，均在整體范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一控制。經(jīng)過(guò) HEPA/ULPA 過(guò)濾器的氣流速度，通常在整個(gè)廠區(qū)保持固定，氣流形式為垂直向下的層流，空氣流速基本不做單獨(dú)調(diào)控。由于外殼與天花板直接連接，其外殼、面板及檢修門(mén)的材料特性，會(huì)直接決定天花板網(wǎng)格系統(tǒng)的相關(guān)規(guī)格（包括類型、承載負(fù)荷、潔凈等級(jí)等）。

這種微環(huán)境系統(tǒng)與工廠中心系統(tǒng)完全獨(dú)立，超凈空氣通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元直接供給機(jī)柜。若需控制溫度和濕度，可搭配遠(yuǎn)程環(huán)境空氣處理裝置，還能根據(jù)設(shè)備需求，靈活配置化學(xué)過(guò)濾功能及密封方案。氣流形式可選擇垂直或水平層流，流速能按照設(shè)備具體要求進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于微環(huán)境的外殼、面板及門(mén)禁材料與天花板網(wǎng)格系統(tǒng)無(wú)關(guān)聯(lián)，因此可選用低成本天花板網(wǎng)格系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)成本節(jié)約。

該微環(huán)境配備氣體自循環(huán)系統(tǒng)，超潔凈氣體或空氣由自供電風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組提供。若需調(diào)控溫度與濕度，可搭配遠(yuǎn)程環(huán)境空氣處理裝置。

系統(tǒng)常規(guī)采用過(guò)濾后的潔凈空氣，若需控制氧氣、水蒸氣含量，則可選用用戶指定氣體，比如干燥空氣、氮?dú)獾取１匾獣r(shí)還能配置化學(xué)過(guò)濾功能與密封方案。氣流方向可設(shè)計(jì)為水平或垂直形式，流速可根據(jù)設(shè)備需求靈活調(diào)整。由于微環(huán)境的外殼、面板及檢修門(mén)材料，不會(huì)對(duì)天花板網(wǎng)格系統(tǒng)的規(guī)格產(chǎn)生影響，因此可選用低成本網(wǎng)格系統(tǒng)以控制成本。

相比開(kāi)放空間式潔凈室，微環(huán)境在電子半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)十分突出：

1. 針對(duì)單一制程的污染控制效率更高，能為生產(chǎn)提供更可靠的質(zhì)量保障。

2. 可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)環(huán)境與污染物的有效隔離，尤其能避免操作員帶來(lái)的影響。晶圓通過(guò)微環(huán)境內(nèi)部的隔離吊艙自動(dòng)傳輸，既完成晶圓盒的供給與回收，也能在各制程站（含其他微環(huán)境內(nèi)的制程站）間安全轉(zhuǎn)運(yùn)。

3. 所有晶圓加工及運(yùn)輸機(jī)臺(tái)均封閉于微環(huán)境中，大幅降低了對(duì)機(jī)臺(tái)周邊空間的空氣質(zhì)量要求。

億天凈化在半導(dǎo)體微環(huán)境凈化領(lǐng)域，以精準(zhǔn)控污、高效隔離、靈活適配為核心，將先進(jìn)的隔離技術(shù)與定制化設(shè)計(jì)理念融入產(chǎn)品研發(fā)。我們的微環(huán)境解決方案不僅能顯著提升生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定性，更能幫助企業(yè)優(yōu)化成本投入，以更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為芯片制造的每一個(gè)精密環(huán)節(jié)保駕護(hù)航，助力行業(yè)實(shí)現(xiàn)更高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈生產(chǎn)目標(biāo)。